Патенти з міткою «фосфор-оксинітриду»
Спосіб синтезу плівок фосфор-оксинітриду літію (lipon) для твердотільних літієвих акумуляторів методом високочастотного магнетронного напилення
Номер патенту: 84897
Опубліковано: 11.11.2013
Автори: Коваленко Леонід Леонідович, В'юнов Олег Іванович, Білоус Анатолій Григорович
МПК: H01M 2/16, H01M 4/86, H01M 4/66 ...
Мітки: високочастотного, акумуляторів, магнетронного, літію, фосфор-оксинітриду, спосіб, напилення, плівок, літієвих, методом, твердотільних, синтезу, lipon
Формула / Реферат:
Спосіб синтезу плівок фосфор-оксинітриду літію (LiPON) для твердотільних літієвих акумуляторів методом високочастотного магнетронного напилення, який відрізняється тим, що для одержання одночасно високої іонної провідності () та відсутності тріщин синтез проводять при температурі підкладки 25-60 °C протягом 4-6 годин при ВЧ потужності напилення 2-2,5 В·см2 і тиску...