Патенти з міткою «фотолюмінісцентного»
Спосіб одержання фотолюмінісцентного шару, що не містить рідкісноземельних металів
Номер патенту: 102635
Опубліковано: 25.07.2013
Автори: Лисенко Володимир Сергійович, Русавський Андрій Вадимович, Назаров Олексій Миколайович, Локшин Михайло Маркович, Васін Андрій Володимирович
МПК: C23C 14/35, H01L 21/203, C09K 11/65 ...
Мітки: рідкісноземельних, металів, фотолюмінісцентного, одержання, спосіб, шару, містить
Формула / Реферат:
Спосіб одержання фотолюмінісцентного шару, що включає формування шару пористого двоокису кремнію з вуглецем, який відрізняється тим, що об'єкт довільної форми, на якому потрібно сформувати шар люмінофору, розташовують у вакуумній камері установки магнетронного розпорошення, наповнюють вакуумну камеру газовою сумішшю Аr/СН4 та розпорошують встановлену у камері кремнієву мішень у суміші Аr/СН4 при температурі об'єкта 180-220 °C, доки...