Патенти з міткою «іонно-електронної»

Пристрій для іонно-електронної обробки поверхонь у вакуумі

Завантаження...

Номер патенту: 94799

Опубліковано: 10.06.2011

Автори: Дудін Станіслав Валентинович, Рафальський Дмитро В'ячеславович

МПК: H01J 27/00

Мітки: поверхонь, обробки, пристрій, вакуумі, іонно-електронної

Формула / Реферат:

Пристрій для іонно-електронної обробки поверхонь у вакуумі, що складається з високочастотного джерела іонів та електронів, яке містить діелектричну розрядну камеру з розміщеним в ній потенціальним електродом, з'єднаним через розділовий конденсатор з джерелом ВЧ напруги, ВЧ індуктор, розміщений навкруги діелектричної розрядної камери, іонно-оптичну систему, виконану у вигляді одного заземленого електрода-сітки з площею, меншою за площу...