Дудін Станіслав Валентинович

Пристрій для іонно-електронної обробки поверхонь у вакуумі

Завантаження...

Номер патенту: 94799

Опубліковано: 10.06.2011

Автори: Рафальський Дмитро В'ячеславович, Дудін Станіслав Валентинович

МПК: H01J 27/00

Мітки: пристрій, іонно-електронної, обробки, вакуумі, поверхонь

Формула / Реферат:

Пристрій для іонно-електронної обробки поверхонь у вакуумі, що складається з високочастотного джерела іонів та електронів, яке містить діелектричну розрядну камеру з розміщеним в ній потенціальним електродом, з'єднаним через розділовий конденсатор з джерелом ВЧ напруги, ВЧ індуктор, розміщений навкруги діелектричної розрядної камери, іонно-оптичну систему, виконану у вигляді одного заземленого електрода-сітки з площею, меншою за площу...

Енергоефективне джерело іонів

Завантаження...

Номер патенту: 42072

Опубліковано: 25.06.2009

Автори: Зиков Олександр Володимирович, Рафальський Дмитро В'ячеславович, Дудін Станіслав Валентинович

МПК: H01J 27/16

Мітки: енергоефективне, іонів, джерело

Формула / Реферат:

Енергоефективне джерело іонів, що включає діелектричну розрядну камеру з підключеним до джерела ВЧ напруги через розділовий конденсатор потенціальним електродом площею S1 і іонно-оптичною системою у вигляді заземленого електрода-сітки площею S2, а також ВЧ індуктор, що охоплює камеру зовні, яке відрізняється тим, що потенціальний електрод складений з нерухомої і рухомої частин та виконаний з можливістю зміни його площі S1 завдяки пересуванню...