Патенти з міткою «іонно-плазмовою»
Пристрій для нанесення покриттів у вакуумі з іонно-плазмовою активацією
Номер патенту: 101342
Опубліковано: 10.09.2015
Автори: Кузьмичєв Анатолій Іванович, Цибульський Леонід Юрійович
МПК: C23C 14/00
Мітки: нанесення, вакуумі, активацією, покриттів, іонно-плазмовою, пристрій
Формула / Реферат:
1. Пристрій для нанесення покриттів у вакуумі з іонно-плазмовою активацією, який містить джерело молекулярного потоку вихідного матеріалу, що осаджують на підкладки, джерело електричного живлення для джерела молекулярного потоку вихідного матеріалу, тримач підкладок, генератор напруги негативного зміщення, який підключений до тримача підкладок, джерело реакційного газу, іонізатор-активатор, який з'єднаний з джерелом реакційного газу і який...