Патенти з міткою «хвильоводу»
Спосіб виготовлення канального хвильоводу
Номер патенту: 15036
Опубліковано: 30.06.1997
Автори: Камуз Олександр Михайлович, Олексенко Павло Феофанович, Овсяніков Євген Юрійович
МПК: B81B 1/00
Мітки: хвильоводу, канального, спосіб, виготовлення
Формула / Реферат:
1. Способ изготовления канального волновода, включающий воздействие активирующего излучения на исходный образец через фотошаблон, отличающийся тем, что в качестве исходного образца используют легированные монокристаллы полупроводников группы причем монокристалл помещают в высокополярную жидкость и подвергают воздействию зоно-зонно поглощаемого излучения с плотностью мощности 50 - 500мВт/см2 в течение 10 - 30мин.2. Способ по п.1,...