Овсяніков Євген Юрійович

Номер патенту: 15036

Опубліковано: 30.06.1997

Автори: Камуз Олександр Михайлович, Овсяніков Євген Юрійович, Олексенко Павло Феофанович

МПК: B81B 1/00

Мітки: спосіб, канального, хвильоводу, виготовлення

Формула / Реферат:

1. Способ изготовления канального волновода, включающий воздействие активирующего излучения на исходный образец через фотошаблон, отличающийся тем, что в качестве исходного образца используют легированные монокристаллы полупроводников группы  причем монокристалл помещают в высокополярную жидкость и подвергают воздействию зоно-зонно поглощаемого излучения с плотностью мощности 50 - 500мВт/см2 в течение 10 - 30мин.2. Способ по п.1,...