Патенти з міткою «мікро-електро-механічної»

Структура мікро-електро-механічної системи (mems) з гнучкою мембраною та удосконаленим управлянням електричними засобами

Завантаження...

Номер патенту: 102728

Опубліковано: 12.08.2013

Автори: Лорфелін Ніколас, Сегюені Карім

МПК: H01H 59/00

Мітки: системі, структура, гнучкою, mems, мікро-електро-механічної, мембраною, електричними, засобами, управлянням, удосконаленим

Формула / Реферат:

1. МЕМС (MEMS)-стpyктypa, яка містить гнучку мембрану (6), що має основну поздовжню вісь (6а), яка визначає поздовжній напрямок (X), щонайменше одну опору (3, 3') під гнучкою мембраною (6), електричний опускаючий активаційний механізм (7), здатний згинати гнучку мембрану (6) у нижнє форсоване положення, електричний піднімаючий активаційний механізм (8), здатний згинати мембрану (6) у верхнє форсоване положення, причому електричний опускаючий...