Лорфелін Ніколас
Структура мікро-електро-механічної системи (mems) з гнучкою мембраною та удосконаленим управлянням електричними засобами
Номер патенту: 102728
Опубліковано: 12.08.2013
Автори: Сегюені Карім, Лорфелін Ніколас
МПК: H01H 59/00
Мітки: управлянням, структура, електричними, системі, гнучкою, удосконаленим, засобами, мікро-електро-механічної, мембраною, mems
Формула / Реферат:
1. МЕМС (MEMS)-стpyктypa, яка містить гнучку мембрану (6), що має основну поздовжню вісь (6а), яка визначає поздовжній напрямок (X), щонайменше одну опору (3, 3') під гнучкою мембраною (6), електричний опускаючий активаційний механізм (7), здатний згинати гнучку мембрану (6) у нижнє форсоване положення, електричний піднімаючий активаційний механізм (8), здатний згинати мембрану (6) у верхнє форсоване положення, причому електричний опускаючий...