Лорфелін Ніколас

Структура мікро-електро-механічної системи (mems) з гнучкою мембраною та удосконаленим управлянням електричними засобами

Завантаження...

Номер патенту: 102728

Опубліковано: 12.08.2013

Автори: Сегюені Карім, Лорфелін Ніколас

МПК: H01H 59/00

Мітки: управлянням, структура, електричними, системі, гнучкою, удосконаленим, засобами, мікро-електро-механічної, мембраною, mems

Формула / Реферат:

1. МЕМС (MEMS)-стpyктypa, яка містить гнучку мембрану (6), що має основну поздовжню вісь (6а), яка визначає поздовжній напрямок (X), щонайменше одну опору (3, 3') під гнучкою мембраною (6), електричний опускаючий активаційний механізм (7), здатний згинати гнучку мембрану (6) у нижнє форсоване положення, електричний піднімаючий активаційний механізм (8), здатний згинати мембрану (6) у верхнє форсоване положення, причому електричний опускаючий...