Патенти з міткою «мікровакуумного»
Спосіб виготовлення мікровакуумного автоемісійного випромінювача з планарно-торцевим катодом
Номер патенту: 32528
Опубліковано: 26.05.2008
Автор: Голота Віктор Іванович
МПК: H01L 21/00
Мітки: планарно-торцевим, мікровакуумного, виготовлення, випромінювача, автоемісійного, катодом, спосіб
Формула / Реферат:
1. Спосіб виготовлення мікровакуумного автоемісійного випромінювача з планарно-торцевим емісійним катодом, утвореним круглим отвором в тонкому шарі провідного матеріалу і циліндричним екстракційним електродом, який розміщується нижче емісійного катода на підкладці так, що бокова поверхня циліндра співпадає з краєм отвору емісійного катода по вертикалі, який відрізняється тим, що формується планарно-торцевий екстракційний електрод, утворений...