Патенти з міткою «нанометричних»
Установка для нанесення нанометричних покриттів з періодичною структурою
Номер патенту: 38846
Опубліковано: 26.01.2009
Автори: Кучугурний Юрій Петрович, Гришкевич Олександр Дмитрович
МПК: C23C 14/00
Мітки: нанесення, нанометричних, періодичною, установка, структурою, покриттів
Формула / Реферат:
Установка для нанесення нанометричних покриттів з періодичною структурою на зовнішню поверхню виробів циліндричної форми, що включає вакуумну камеру з системами вакуумного відкачування, напуску і регулювання тиску робочих газів, співвісну з вакуумною камерою систему транспортування оброблюваних виробів через робочу зону магнетронних розпилювачів з катодами, що виготовлені з різних металів, яка відрізняється тим, що містить два магнетронні...