Кучугурний Юрій Петрович
Установка для нанесення нанометричних покриттів з періодичною структурою
Номер патенту: 38846
Опубліковано: 26.01.2009
Автори: Гришкевич Олександр Дмитрович, Кучугурний Юрій Петрович
МПК: C23C 14/00
Мітки: установка, покриттів, структурою, нанометричних, нанесення, періодичною
Формула / Реферат:
Установка для нанесення нанометричних покриттів з періодичною структурою на зовнішню поверхню виробів циліндричної форми, що включає вакуумну камеру з системами вакуумного відкачування, напуску і регулювання тиску робочих газів, співвісну з вакуумною камерою систему транспортування оброблюваних виробів через робочу зону магнетронних розпилювачів з катодами, що виготовлені з різних металів, яка відрізняється тим, що містить два магнетронні...
Вакуумно-дуговий пристрій
Номер патенту: 71886
Опубліковано: 15.12.2004
Автори: Кучугурний Юрій Петрович, Погорілий Віталій Антонович, Лисиченко Володимир Іванович, Гринюк Станіслав Іванович
МПК: C23C 14/00
Мітки: вакуумно-дуговий, пристрій
Формула / Реферат:
1. Вакуумно-дуговий пристрій для нанесення покриття на внутрішню поверхню трубчатих виробів, що складається з вакуумної камери, циліндричного трубчатого катода, розташованого коаксіально в оброблюваному виробі, джерела постійного струму для живлення вакуумно-дугового розряду, ініціатора дугового розряду, який відрізняється тим, що він має джерело уніполярних електричних імпульсів, блок імпульсного дозованого напуску газу, магнітну систему,...