Патенти з міткою «нанометрової»

Номер патенту: 111537

Опубліковано: 10.11.2016

Автори: Кондратенко Валерій Володимирович, Першин Юрій Павлович, Девізенко Олександр Юрійович

МПК: G02B 1/10, C23C 28/00

Мітки: нанометрової, шарів, спосіб, виміру, товщини, густини

Формула / Реферат:

Спосіб виміру густини шару нанометрової товщини, який полягає в нанесенні шару на підкладку, записі малокутової кривої віддзеркалення монохроматичного рентгенівського випромінювання від шару, вимірі величини критичного кута повного зовнішнього віддзеркалення, визначенні індексу показника заломлення шару і обчисленні по ньому густини шару, який відрізняється тим, що на різні підкладки наносять серію багатошарових плівок, що складаються з...