Першин Юрій Павлович

Номер патенту: 111537

Опубліковано: 10.11.2016

Автори: Першин Юрій Павлович, Девізенко Олександр Юрійович, Кондратенко Валерій Володимирович

МПК: G02B 1/10, C23C 28/00

Мітки: виміру, товщини, шарів, густини, спосіб, нанометрової

Формула / Реферат:

Спосіб виміру густини шару нанометрової товщини, який полягає в нанесенні шару на підкладку, записі малокутової кривої віддзеркалення монохроматичного рентгенівського випромінювання від шару, вимірі величини критичного кута повного зовнішнього віддзеркалення, визначенні індексу показника заломлення шару і обчисленні по ньому густини шару, який відрізняється тим, що на різні підкладки наносять серію багатошарових плівок, що складаються з...

Номер патенту: 101988

Опубліковано: 12.10.2015

Автори: Копилець Ігор Анатолійович, Батурін Олексій Анатолійович, Першин Юрій Павлович, Михайлов Ігор Федорович, Кондратенко Валерій Володимирович, Михайлов Антон Ігоревич

МПК: G02B 19/00, G01N 23/223

Мітки: широкосмугового, монохроматизації, рентгенівського, випромінювання, пристрій, джерела

Формула / Реферат:

1. Пристрій монохроматизації рентгенівського випромінювання широкосмугового джерела, що містить вузол колімації і монохроматизуючий вузол, який відрізняється тим, що монохроматизуючий вузол містить флуоресцентну мішень і конденсор.2. Пристрій за п. 1, який відрізняється тим, що флуоресцентна мішень складається із змінного набору пластин, які містять чисті хімічні елементи, сплави або хімічні сполуки.3. Пристрій за п. 2, який...

Номер патенту: 90842

Опубліковано: 10.06.2014

Автор: Першин Юрій Павлович

МПК: C23C 28/00, G02B 1/10, C23C 14/35 ...

Мітки: спосіб, багатошарових, зон, дзеркалах, перемішаних, рентгенівських, оцінки, складу

Формула / Реферат:

1. Спосіб оцінки складу перемішаних зон в багатошарових рентгенівських дзеркалах, що полягає у нанесенні серії періодичних дзеркал на підкладки із змінною товщиною одного з компонентів, визначенні усадки періоду і порівнянні її з розрахунковими значеннями, який відрізняється тим, що разом з періодичним дзеркалом на кожну підкладку напилюють додаткове багатошарове дзеркало з іншою товщиною компонента змінної товщини, а усадку знаходять по...

Номер патенту: 90841

Опубліковано: 10.06.2014

Автори: Кондратенко Валерій Володимирович, Першин Юрій Павлович, Севрюков Денис Валерійович, Девізенко Олександр Юрійович

МПК: G02B 1/10, C23C 28/00, C23C 14/35 ...

Мітки: рентгенівське, багатошарове, дзеркало

Формула / Реферат:

1. Багатошарове рентгенівське дзеркало, яке складається з почергових основних шарів двох або більше матеріалів і бар'єрних шарів, розташованих щонайменше на одній з міжфазних меж основних шарів, яке відрізняється тим, що бар'єрний шар складається зі сплаву проникнення з атомною щільністю більше 90 атомів/нм3.2. Багатошарове рентгенівське дзеркало за п. 1, яке відрізняється тим, що бар'єрний шар складається з бориду, карбіду, нітриду...

Номер патенту: 71633

Опубліковано: 25.07.2012

Автори: Кондратенко Валерій Володимирович, Зубарєв Євгеній Миколайович, Севрюкова Вікторія Анатоліївна, Першин Юрій Павлович

МПК: G02B 1/10, C23C 28/00

Мітки: дзеркал, спосіб, шорсткості, міжфазної, багатошарових, рентгенівських, оцінки

Формула / Реферат:

Спосіб оцінки міжфазної шорсткості багатошарових рентгенівських дзеркал, який полягає в малокутовій зйомці кривої відбиття в жорсткому рентгенівському випромінюванні та ідентифікації головних дифракційних максимумів, який відрізняється тим, що вимірюють кутове положення останнього спостережуваного дифракційного максимуму, і міжфазну шорсткість визначають з умови , де σ...

Номер патенту: 57053

Опубліковано: 10.02.2011

Автори: Першин Юрій Павлович, Севрюкова Вікторія Анатоліївна, Зубарєв Євгеній Миколайович, Кондратенко Валерій Володимирович

МПК: C23C 28/00, G01N 23/083, C23C 14/35 ...

Мітки: спосіб, багатошарових, дзеркал, виготовлення, рентгенівських

Формула / Реферат:

1. Спосіб виготовлення багатошарових рентгенівських дзеркал, який полягає у вакуумуванні установки, напуску розпиляючого газу до робочого тиску, подачі напруги на мішені, які розпиляються, для підпалу розрядів і почерговому нанесенні шарів двох або більше речовин на підкладку, який відрізняється тим, що при нанесенні шарів робочий тиск і відстань мішень-підкладка вибирають так, щоб їх добуток знаходився в межах від 3 до 20...