Патенти з міткою «наномікроскопів»
Біморфний п’єзоелемент сканера наномікроскопів
Номер патенту: 26019
Опубліковано: 27.08.2007
Автори: Шарапов Валерій Михайлович, Філімонов Сергій Олександрович, Гуржій Андрій Миколайович
МПК: G12B 21/00, H01L 41/00
Мітки: п'єзоелемент, біморфний, сканера, наномікроскопів
Формула / Реферат:
Біморфний п'єзоелемент сканера наномікроскопів, який містить п'єзоелемент у вигляді пластини прямокутної форми з електродами, який закріплений на металевій пластині у вигляді консолі, який відрізняється тим, що відношення товщини металевої пластини hM до товщини п'єзоелемента hP біморфного п'єзоелемента вибирається з співвідношення 0,35 < hM/hP < 0,65.