Патенти з міткою «п’єзоелемент»
Біморфний п’єзоелемент сканера наномікроскопів
Номер патенту: 26019
Опубліковано: 27.08.2007
Автори: Філімонов Сергій Олександрович, Гуржій Андрій Миколайович, Шарапов Валерій Михайлович
МПК: H01L 41/00, G12B 21/00
Мітки: наномікроскопів, п'єзоелемент, сканера, біморфний
Формула / Реферат:
Біморфний п'єзоелемент сканера наномікроскопів, який містить п'єзоелемент у вигляді пластини прямокутної форми з електродами, який закріплений на металевій пластині у вигляді консолі, який відрізняється тим, що відношення товщини металевої пластини hM до товщини п'єзоелемента hP біморфного п'єзоелемента вибирається з співвідношення 0,35 < hM/hP < 0,65.