Патенти з міткою «орієнтуючих»

Номер патенту: 23721

Опубліковано: 11.06.2007

Автори: Коломзаров Юрій Вікторович, Зелінський Роман Ярославович, Титаренко Павло Олександрович, Олексенко Павло Феофанович, Сорокін Віктор Михайлович

МПК: C23C 14/00, G02F 1/13, C23C 14/34 ...

Мітки: плівок, рідкі, спосіб, орієнтуючих, одержання, кристали

Формула / Реферат:

Спосіб одержання орієнтуючих рідкі кристали плівок методом реактивного катодного розпорошення катодної мішені, що включає кремній, в атмосфері суміші аргону та кисню, який включає нанесення орієнтуючих покриттів в плазмовому стовпі, що формується за допомогою екрана на підкладку, яка розташована під кутом до напрямку руху розпорошеного матеріалу, який відрізняється тим, що катодна мішень додатково містить індій в процентах від площі поверхні...