Зелінський Роман Ярославович
Спосіб одержання орієнтуючих рідкі кристали плівок
Номер патенту: 23721
Опубліковано: 11.06.2007
Автори: Титаренко Павло Олександрович, Сорокін Віктор Михайлович, Коломзаров Юрій Вікторович, Олексенко Павло Феофанович, Зелінський Роман Ярославович
МПК: C23C 14/34, G02F 1/13, C23C 14/00 ...
Мітки: кристали, спосіб, орієнтуючих, одержання, плівок, рідкі
Формула / Реферат:
Спосіб одержання орієнтуючих рідкі кристали плівок методом реактивного катодного розпорошення катодної мішені, що включає кремній, в атмосфері суміші аргону та кисню, який включає нанесення орієнтуючих покриттів в плазмовому стовпі, що формується за допомогою екрана на підкладку, яка розташована під кутом до напрямку руху розпорошеного матеріалу, який відрізняється тим, що катодна мішень додатково містить індій в процентах від площі поверхні...