Патенти з міткою «шільності»
Датчик для вимірювання шільності дози при імплантації іонами he+
Номер патенту: 10388
Опубліковано: 25.12.1996
Автори: Стахурський Леонід Леонідович, Романюк Борис Миколайович
Мітки: шільності, іонами, імплантації, датчик, дози, вимірювання
Формула / Реферат:
Применение эпитаксиальной пленки железо-иттриевого граната на подложке из галлий-гадолиниевого граната (111)-ориентации в качестве датчика для измерения плотности дозы при имплантации ионами Не+.