Патенти з міткою «тензосенсор»
Інтегральний диференційний тензосенсор
Номер патенту: 4430
Опубліковано: 17.01.2005
Автор: ШАРАН МИКОЛА МИКОЛАЙОВИЧ
МПК: G01L 9/04
Мітки: інтегральній, диференційний, тензосенсор
Формула / Реферат:
1. Інтегральний диференційний тензосенсор, що містить виконану як одне ціле з основою кремнієву квадратну мембрану однорідної товщини, орієнтовану в площині [100] та розміщений на її планарній поверхні горизонтальний двостоковий польовий тензотранзистор з p-n переходом як затвор, причому область каналу розміщена в частині мембрани, що деформується одновісно в кристалографічному напрямку [110], який відрізняється тим, що горизонтальний...
Інтегральний тензосенсор
Номер патенту: 4429
Опубліковано: 17.01.2005
Автор: ШАРАН МИКОЛА МИКОЛАЙОВИЧ
МПК: G01L 9/04
Мітки: тензосенсор, інтегральній
Формула / Реферат:
1. Інтегральний тензосенсор, що містить виконану як одне ціле з оправою кремнієву мембрану з елементами жорсткості: острівцем в центрі з однієї сторони та балками з другої; мембрана орієнтована в кристалографічній площині [100]; на її планарній поверхні центральносиметрично відносно центра балки розміщений диференційний чутливий елемент, обидва тензорезистори якого орієнтовані на поверхні так, що при навантаженні одновісно деформуються в...