Патенти з міткою «термоіонний»

Номер патенту: 56837

Опубліковано: 15.05.2003

Автори: Перекрестов В'ячеслав Іванович, Космінська Юлія Олександрівна, Хворост Володимир Андрійович

МПК: C23C 14/35

Мітки: термоіонний, пристрій, розпилювальний

Формула / Реферат:

1. Термоіонний розпилювальний пристрій, що містить анод у вигляді герметичного циліндричного корпусу, виконаного з немагнітного матеріалу, катод у вигляді пустотілого циліндричного корпусу, прикріпленого до його основи, яка з'єднана з закріпленим на ізоляторі тримачем, і встановлену в герметичному циліндричному корпусі анода співвісно катоду водоохолоджувану магнітну систему у вигляді односекційного постійного магніту циліндричної форми з...