Космінська Юлія Олександрівна

Номер патенту: 92525

Опубліковано: 10.11.2010

Автори: Космінська Юлія Олександрівна, Перекрестов В'ячеслав Іванович, Мокренко Олександр Анатолійович

МПК: C23C 14/24, C23C 14/35, H01J 27/02 ...

Мітки: плоскі, пристрій, нанесення, слабколетких, надпоруватих, розпилювальний, речовин, підкладки, покриттів, металів, вакуумі

Формула / Реферат:

1. Розпилювальний пристрій для нанесення у вакуумі надпоруватих покриттів з металів або слабколетких речовин на плоскі підкладки, що містить анод та катод у вигляді пустотілого зрізаного конуса з отвором, зверненим до анода, зрізаний конус катода закріплений на основі, що з'єднана з охолоджуваним тримачем, і всередині пустотілого зрізаного конуса, в нижній його частині, розташована підкладка, поблизу поверхні якої розміщена заслінка, для...

Номер патенту: 37359

Опубліковано: 25.11.2008

Автори: Космінська Юлія Олександрівна, Мокренко Олександр Анатолійович, Перекрестов В'ячеслав Іванович, Дьошин Борис Вікторович

МПК: C23C 14/35

Мітки: нанесення, вакуумі, пристрій, покриттів

Формула / Реферат:

Пристрій для нанесення покриттів у вакуумі, що містить розпилюваний катод, співвісно якому розміщений анод, що складається з герметичного корпусу у вигляді пустотілого циліндра, нижня частина якого виконана у вигляді зрізаного конуса з розташованою в ньому односекційною водоохолоджувальною магнітною системою із постійного магніту, до торця циліндричного постійного магніту приєднаний, у вигляді зрізаного конуса, фокусуючий магнітопровід, і в...

Номер патенту: 83371

Опубліковано: 10.07.2008

Автори: Корнющенко Ганна Сергіївна, Космінська Юлія Олександрівна, Перекрестов В'ячеслав Іванович

МПК: C23C 14/34, C23C 14/22, C23C 14/35 ...

Мітки: матеріалів, одержання, надпоруватих, шарів, спосіб, електропровідних

Формула / Реферат:

Спосіб одержання надпоруватих шарів електропровідних матеріалів, який включає перехід речовини з конденсованого стану в стан пари і конденсацію на підкладку за умов наближення до фазової рівноваги системи пара-конденсат при відповідних підвищених температурах осадження, який відрізняється тим, що пари речовини іонізують і конденсацію проводять на підкладку, до якої підводять від'ємний потенціал, та на поверхню росту кристалу діють потоком...

Номер патенту: 80775

Опубліковано: 25.10.2007

Автори: Космінська Юлія Олександрівна, Перекрестов В'ячеслав Іванович, Корнющенко Ганна Сергіївна

МПК: C23C 14/35

Мітки: пристрій, конденсатів, формування, вакуумних

Формула / Реферат:

Пристрій для формування вакуумних конденсатів, що містить анод, за який використані стінки робочої камери, охолоджуваний водою катодний вузол циліндричної форми, який складається з мішені, виготовленої із розпилювального матеріалу, тримача мішені і магнітної системи у вигляді постійних магнітів, які забезпечують формування необхідної конфігурації магнітного поля безпосередньо над поверхнею розпилювальної мішені, та підкладку, який...

Номер патенту: 76257

Опубліковано: 17.07.2006

Автори: Перекрестов В'ячеслав Іванович, Космінська Юлія Олександрівна

МПК: C23C 14/35

Мітки: вакуумі, пристрій, нанесення, розпилювальний, покриттів

Формула / Реферат:

1. Розпилювальний пристрій для нанесення покриттів у вакуумі, що містить анод у вигляді немагнітного герметичного циліндричного корпусу, розташований співвісно аноду пустотілий катод з корпусом у вигляді зрізаного конуса, а також встановлену всередині немагнітного герметичного циліндричного корпусу анода водоохолоджувану магнітну систему у вигляді односекційного циліндричного постійного магніту, до торця якого приєднаний фокусуючий...

Номер патенту: 69974

Опубліковано: 15.09.2004

Автори: Побєдін Олександр Юрійович, Космінська Юлія Олександрівна, Перекрестов В'ячеслав Іванович

МПК: C23C 14/35

Мітки: вакуумі, пристрій, нанесення, розпилювальний, покриттів

Формула / Реферат:

Розпилювальний пристрій для нанесення покриттів у вакуумі, що містить анод у вигляді герметичного циліндричного корпусу, виконаного з немагнітного матеріалу, катод у вигляді пустотілого корпусу, прикріпленого до його основи, яка з'єднана з закріпленим на ізоляторі тримачем, і встановлену в герметичному циліндричному корпусі анода співвісно катоду водоохолоджувану магнітну систему у вигляді односекційного постійного магніту циліндричної форми,...

Номер патенту: 69723

Опубліковано: 15.09.2004

Автори: Перекрестов В'ячеслав Іванович, Космінська Юлія Олександрівна

МПК: C23C 14/35

Мітки: покриттів, нанесення, пристрій, вакуумі

Формула / Реферат:

Пристрій для нанесення покриттів у вакуумі, який містить розпилюваний катод, співвісно якому розміщений анод, а також водоохолоджувану магнітну систему, що складається з однієї секції постійного магніту, причому анод має герметичний корпус у вигляді пустотілого, виконаного з немагнітного матеріалу циліндра з нижньою частиною у вигляді зрізаного конусу, і магнітна система розташована у нижній частині циліндричного корпусу анода, а до торцевої...

Номер патенту: 57952

Опубліковано: 15.07.2003

Автори: Космінська Юлія Олександрівна, Погребняк Олександр Дмитрович, Перекрестов В'ячеслав Іванович

МПК: C23C 14/35

Мітки: нанесення, вакуумі, пристрій, покриттів

Формула / Реферат:

1. Пристрій для нанесення покриттів у вакуумі, що містить розпилюваний катод, співвісно якому розміщений анод, що складається з герметичного корпусу у вигляді пустотілого, виконаного з немагнітного матеріалу циліндра, нижня частина якого має форму зрізаного конуса, та розташованої в нижній частині циліндричного корпусу магнітної системи, постійний магніт якої має одну секцію, і до торцевої частини магнітної системи співвісно їй приєднаний...

Номер патенту: 57940

Опубліковано: 15.07.2003

Автори: Космінська Юлія Олександрівна, Погребняк Олександр Дмитрович, Перекрестов В'ячеслав Іванович

МПК: C23C 14/35

Мітки: нанесення, вакуумі, покриттів, пристрій

Формула / Реферат:

1. Пристрій для нанесення покриттів у вакуумі, що містить анод, розпилюваний катод із корпусом циліндричної форми, верхня частина якого виконана у вигляді зрізаного конуса, і встановлену співвісно катоду водоохолоджувану магнітну систему у вигляді постійного магніту циліндричної форми з наскрізним осьовим отвором, який відрізняється тим, що анод містить герметичний корпус у вигляді пустотілого циліндра, нижня частина якого виконана у вигляді...

Номер патенту: 56837

Опубліковано: 15.05.2003

Автори: Космінська Юлія Олександрівна, Хворост Володимир Андрійович, Перекрестов В'ячеслав Іванович

МПК: C23C 14/35

Мітки: термоіонний, пристрій, розпилювальний

Формула / Реферат:

1. Термоіонний розпилювальний пристрій, що містить анод у вигляді герметичного циліндричного корпусу, виконаного з немагнітного матеріалу, катод у вигляді пустотілого циліндричного корпусу, прикріпленого до його основи, яка з'єднана з закріпленим на ізоляторі тримачем, і встановлену в герметичному циліндричному корпусі анода співвісно катоду водоохолоджувану магнітну систему у вигляді односекційного постійного магніту циліндричної форми з...