Афанасьєва Сніжана Валентинівна

Номер патенту: 54946

Опубліковано: 17.03.2003

Автори: Махній Віктор Петрович, Афанасьєва Сніжана Валентинівна, Мельник Володимир Васильович

МПК: H01L 31/00

Мітки: спосіб, виготовлення, ультрафіолетового, випромінювання, детектора

Формула / Реферат:

1. Спосіб виготовлення детектора ультрафіолетового випромінювання на основі низькоомного селеніду цинку, що включає утворення омічного і випрямного контактів, який відрізняється тим, що перед нанесенням випрямного контакту проводять додаткову обробку поверхні напівпровідникової підкладинки у травнику, який взаємодіє з ZnO і не взаємодіє з ZnSe.2. Спосіб за п. 1, який відрізняється тим, що травлення здійснюють у оцтовій есенції при...