Бєрдов Лев Васильович
Мас-спектрометричний течерозшукувач
Номер патенту: 3478
Опубліковано: 27.12.1994
Автори: Грєков Олександр Йосипович, Ладіков Валерій Анатолійович, Мєжуєв Микола Миколайович, Єфімчук Борис Павлович, Андрєєв Володимир Олексійович, Бєрдов Лев Васильович, Гребенюк Ігор Іванович
МПК: G01M 3/02
Мітки: мас-спектрометричний, течерозшукувач
Формула / Реферат:
1. Масс-спектрометрический течеискатель, содержащий масс-спектрометрическую камеру, соединенные с ней через запорную арматуру средства высоковакуумной и форвакуумкой откачки и входной трубопровод, соединенный через дроссельный вентиль с входом высоковакуумного средства откачки, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности в области больших газовых нагрузок, он снабжен двумя формирователями молекулярного режима течения газа,...