Мас-спектрометричний течерозшукувач

Изобретение относится к технике вакуумных испытаний с помощью м а с с спектрометрических т е ч е и с к а т е л е й . Целью изобретения я в л я е т с я упрощение конструкции т е ч е и с к а т е л я при о д н о в р е менном повышении его ч у в с т в и т е л ь н о с т и путем снижения уровня флуктуации. Т е чеискатель состоит из м а с с - с п е к т р о метрической камеры 1, высоковакуумного насоса 2, форвакуумного н а с о с а 3 , с установленным между насосами 2 и 3 формирователем 4 молекулярного режима течения г а з о в (ФМРТ), демпфирующих емкостей 5 , ФМРТ 6 на входе в т е ч е и с к а т е л ь , а также соединительных магистралей и запорной арматуры. ЇМРТ 4 и 6 выполнены в виде блока капиллярных грубок или трубки с п о перечным сечением в форме спирали с суммарной проводимостью не менее п р о водимости замещаемых участков вакуумных м а г и с т р а л е й , 2 з . п . ф-лы, 1 и л . * В лака 1 425502 Изобретение относится к технике вакуумных испытаний и молот быть и с пользовано в отраслях промышленности, использующих для контроля герметичности масс-спектрометрические т е ч е искатели. Целью изобретения является упрощение конструкции течеискателя при одновременном повышении его чувстви- ю тельности путем снижения уровня флуктуации. На чертеже представлена вакуумная схема масс-спектрометрического т е ч е искателя. 15 Масс-спектрометрический течеискатель состоит из масс-спектрометрической камеры ! , высоковакуумного насоса 2 и форвакуумного насоса 3 с у с тановленным между насосами 2 и 3 фор- 20 мирователем молекулярного режима т е чения (ФМРТ) 4 , демпфирующих емкостей 5, на входе и выходе ФМРТ 4, ФМРТ 6 на входе в течеискатель за дроссельным вентилем 7, а также с о е - 25 динительных магистралей и запорной а р матуры. ФМРТ 4 и 6 могут быть выполнены в виде блока капиллярных трубок или трубки с поперечным сечением в форме спирали с суммарной проводимо- 30 стью не менее проводимости замещаемых участков вакуумных магистралей. ную составляющую с*щуктуяций давления, генерируемых насосом 3. Экспериментальная проверка т е ч е и с кателя ПТИ-Ю, оснащенного формирователями молекулярного режима течения газов показала, что чувствительность течеискателя повышается не менее чем в 10 раз во всем диапазоне допустимых на ГІТИ-10 газовых нагрузок. Ф о р м у л а из* о б р е т е н и я 1. Масс-спектрометрический течеиск а т е л ь , содержащий масс-спектрометрическую камеру, соединенные с ней через запорную арматуру средства высоковакуумной и форвакуумной откачки и входной трубопровод, соединенный через дроссельный вентиль с входом высоковакуумного средства откачки, о т л и ч а ю щ и й с я тем, ч т о , с целью повышения чувствительности в области больших газовых нагрузок, он снабжен двумя формирователями молекулярного режима течения г а з а , один из которых установлен на входном трубопроводе за дроссельным вентилем, а второй - между средствами высоковакуумной и форвакуумной откачки, и двумя демпфирующими емкостями, у с тановленными на входе и выходе в т о р о го формирователя. Течеискатель работает следующим 2. Течеискатель по п . I , о т л и образом. тем, что формироПоток, поступающий на вход в тече- -^ ч а ю щ и й с я ватель молекулярного режима течения искатель, демпфируется на ФМРТ б и с " г а з а выполнен в виде блока капиллярпомощью высоковакуумного насоса 2 ных трубок. создается рабочее давление в м а с с спектрометрической камере 1, насос 3 3 . Течеискатель по п . 1, о т л и создает необходимый вакуум на выходе 40 ч а ю щ и й с я тем, что формиронасоса 2 . ФМРТ 4 исключает высокочаватель молекулярного режима течения стотную составляющую флуктуации, а г а з а выполнен в виде трубки с попедемпфирующие емкости 5 - низкочастотречным сечением в форме спирали. Редактор Г, Волкова Составитель Е. Масленников ТехредЛ.Сердюкова Корректор В. Романенко Заказ 4759/38 Тираж 847 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская н а б . , д , 4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г . Ужгород, ул. Проектная, ,4