Брень Віктор Григорович
Спосіб нанесення покриттів у вакуумі на основі нітридів металів
Номер патенту: 15555
Опубліковано: 30.06.1997
Автори: Овчаренко Валерій Давидович, Брень Віктор Григорович, Аксьонов Іван Іванович, Ломіно Микола Степанович
МПК: C23C 14/32
Мітки: спосіб, вакуумі, металів, нанесення, покриттів, основі, нітридів
Формула / Реферат:
1. Способ нанесения покрытий в вакууме на основе нитридов металлов, включающий формирование потока металлической плазмы с помощью вакуумно-дугового разряда в скрещенных электрическом и магнитном полях в разреженной атмосфере азота с добавкой электроотрицательного газа, размещение изделия в плазменном потоке вне области анодного свечения и конденсацию потока плазмы при подаче на изделие отрицательного потенциала, отличающийся тем, что процесс...