Буршта Ігор Іосифович
Спосіб визначення оптичних параметрів поверхні твердих тіл
Номер патенту: 40115
Опубліковано: 16.07.2001
Автори: Буршта Ігор Іосифович, Завадський Сергій Миколайович, Венгер Євгеній Федорович
МПК: G01N 21/00
Мітки: спосіб, параметрів, твердих, визначення, тіл, оптичних, поверхні
Формула / Реферат:
Спосіб визначення оптичних параметрів поверхні твердих тіл, що включає встановлення зазору між поверхнею досліджуваного зразка і елементом порушеного повного внутрішнього відбивання, опромінення цієї поверхні р- і s-поляризованим електромагнітним випромінюванням через, елемент порушеного повного внутрішнього відбивання, вимірювання еліпсометричиих кутів y і D, і розвязування основного еліпсометричного рівняння...
Спосіб збудження поверхневих електромагнітних хвиль
Номер патенту: 40116
Опубліковано: 16.07.2001
Автори: Завадський Сергій Миколайович, Венгер Євгеній Федорович, Буршта Ігор Іосифович
МПК: G02F 1/00, G05D 25/00
Мітки: поверхневих, електромагнітних, спосіб, хвиль, збудження
Формула / Реферат:
Спосіб збудження поверхневих електромагнітних хвиль, що включає встановлення зазору між поверхнею досліджуваного зразка і елементом порушеного повного внутрішнього відбивання, опромінення цієї поверхні електромагнітним випромінюванням через елемент порушеного повного внутрішнього відбивання і сканування частоти збуджуючого випромінювання або кута падіння випромінювання в елементі порушеного повного внутрішнього відбивання, який відрізняється...