Завадський Сергій Миколайович
Спосіб визначення оптичних параметрів поверхні твердих тіл
Номер патенту: 40115
Опубліковано: 16.07.2001
Автори: Венгер Євгеній Федорович, Завадський Сергій Миколайович, Буршта Ігор Іосифович
МПК: G01N 21/00
Мітки: поверхні, визначення, параметрів, спосіб, тіл, оптичних, твердих
Формула / Реферат:
Спосіб визначення оптичних параметрів поверхні твердих тіл, що включає встановлення зазору між поверхнею досліджуваного зразка і елементом порушеного повного внутрішнього відбивання, опромінення цієї поверхні р- і s-поляризованим електромагнітним випромінюванням через, елемент порушеного повного внутрішнього відбивання, вимірювання еліпсометричиих кутів y і D, і розвязування основного еліпсометричного рівняння...
Спосіб збудження поверхневих електромагнітних хвиль
Номер патенту: 40116
Опубліковано: 16.07.2001
Автори: Венгер Євгеній Федорович, Завадський Сергій Миколайович, Буршта Ігор Іосифович
МПК: G05D 25/00, G02F 1/00
Мітки: спосіб, збудження, електромагнітних, поверхневих, хвиль
Формула / Реферат:
Спосіб збудження поверхневих електромагнітних хвиль, що включає встановлення зазору між поверхнею досліджуваного зразка і елементом порушеного повного внутрішнього відбивання, опромінення цієї поверхні електромагнітним випромінюванням через елемент порушеного повного внутрішнього відбивання і сканування частоти збуджуючого випромінювання або кута падіння випромінювання в елементі порушеного повного внутрішнього відбивання, який відрізняється...