C01B 32/158 — C01B 32/158
Спосіб одержання вуглецевих нанотрубок на титановій підкладці
Номер патенту: 115944
Опубліковано: 10.01.2018
Автори: Школа Андрій Антонович, Хомінич Анастасія Іванівна, Панарін Валентин Евгенович, Свавільний Микола Євгенович
МПК: C23C 14/24, B82B 3/00, C01B 32/158 ...
Мітки: підкладці, нанотрубок, вуглецевих, одержання, титановій, спосіб
Формула / Реферат:
Спосіб одержання вуглецевих нанотрубок на титановій підкладці, який включає розміщення підкладки у вакуумній камері синтезу, відкачування вакуумної камери синтезу, напускання водню у вакуумну камеру синтезу, нанесення на підкладку нанорозмірної каталітичної плівки заліза, відпалювання підкладки при температурі 650-700 °С, напускання в вакуумну камеру синтезу вуглецевмісного газу, синтез вуглецевих нанотрубок, який відрізняється тим, що...