C23C 16/48 — шляхом опромінення, наприклад фотолізу, радіолізу, корпускулярного випромінювання

Спосіб проведення гомогенних і гетерогенних хімічних реакцій з використанням плазми

Завантаження...

Номер патенту: 75530

Опубліковано: 17.04.2006

Автори: Сємьонова Ольга Івановна, Шарафутдінов Равєль Газізовіч, Карстєн Вольдємар Мартиновіч, Хмєль Сєргєй Яковлєвіч, Тімофєєв Владімір Борісовіч, Полісан Андрєй Андрєєвіч

МПК: B22F 9/16, C23C 16/22, B01J 19/08 ...

Мітки: плазми, проведення, гомогенних, спосіб, використанням, хімічних, гетерогенних, реакцій

Формула / Реферат:

1. Спосіб проведення хімічних реакцій, який полягає в тому, що подають реакційний газ з джерела реакційного газу у вакуумну реакційну камеру, формують в ній надзвуковий потік реакційного газу і активують зазначений надзвуковий потік реакційного газу шляхом дії на нього електронним пучком з утворенням електронно-пучкової плазми, який відрізняється тим, що зазначений надзвуковий потік реакційного газу формують таким чином, що на вході у...