C30B 29/62 — ниткоподібні кристали або голки
Спосіб виготовлення мікро- та нановолокон карбіду кремнію
Номер патенту: 110415
Опубліковано: 25.12.2015
Автори: Силенко Петро Митрофанович, Солонін Юрій Михайлович, Шлапак Анатолій Миколайович
МПК: C30B 29/62, C01B 31/36, C01B 31/30 ...
Мітки: мікро, кремнію, карбіду, нановолокон, виготовлення, спосіб
Формула / Реферат:
1. Спосіб виготовлення мікро- та нановолокон карбіду кремнію, що включає газофазне хімічне осадження карбіду кремнію з метилтрихлорсилану на розігріту підкладку з застосуванням каталізаторів, який відрізняється тим, що як підкладку та каталізатор використовують пінонікель, а осадження здійснюють у його порах, при цьому синтез проводять в температурному діапазоні 900-1300 °C протягом 10-30 хв.2. Спосіб за п. 1, відрізняється тим,...