C30B 31/22 — іонним впровадженням
Спосіб формування кисневої надструктури в імплантованих магнітних плівках
Номер патенту: 62088
Опубліковано: 10.08.2011
Автори: Гарпуль Оксана Зіновіївна, Соловко Ярослав Тарасович
МПК: C30B 31/22, H01F 10/00
Мітки: плівках, спосіб, надструктури, формування, кисневої, імплантованих, магнітних
Формула / Реферат:
1. Спосіб формування кисневої надструктури в імплантованих магнітних плівках, який полягає в іонній імплантації монокристалічних ферит-гранатових плівок, який відрізняється тим, що вихідний матеріал піддають опроміненню іонами Si+.2. Спосіб за п. 1, який відрізняється тим, що формування надструктури починається при енергії іонів 150 кеВ та дозі опромінення 5.1013 см-2.