Чен Шань

Компенсуючі композиції та спосіб поповнення композиції для попередньої обробки

Завантаження...

Номер патенту: 106895

Опубліковано: 27.10.2014

Автори: Макмілен Марк, Ракієвіч Едвард Ф., Дешан Джеймс А., Фотінос Нісіфорос А., Чен Шань, Рені Дейвід А.

МПК: C23C 22/86, C23C 22/34

Мітки: обробки, спосіб, компенсуючі, поповнення, попередньо, композиції

Формула / Реферат:

1. Спосіб коректування композиції для попередньої обробки основи, що включає:додавання до композиції для попередньої обробки компенсуючої композиції зі складом, що відрізняється від складу композиції для попередньої обробки, в якому компенсуюча композиція містить:(a) розчинений фторидний комплекс іона металу, в якому іон металу містить метал ІІІА групи, метал IVA групи, метал IVB групи або їх комбінації, і(b) компонент,...