Фотінос Нісіфорос А.
Компенсуючі композиції та спосіб поповнення композиції для попередньої обробки
Номер патенту: 106895
Опубліковано: 27.10.2014
Автори: Ракієвіч Едвард Ф., Макмілен Марк, Фотінос Нісіфорос А., Чен Шань, Дешан Джеймс А., Рені Дейвід А.
МПК: C23C 22/34, C23C 22/86
Мітки: попередньо, композиції, спосіб, поповнення, компенсуючі, обробки
Формула / Реферат:
1. Спосіб коректування композиції для попередньої обробки основи, що включає:додавання до композиції для попередньої обробки компенсуючої композиції зі складом, що відрізняється від складу композиції для попередньої обробки, в якому компенсуюча композиція містить:(a) розчинений фторидний комплекс іона металу, в якому іон металу містить метал ІІІА групи, метал IVA групи, метал IVB групи або їх комбінації, і(b) компонент,...