Чирков Вадим Михайлович
Датчик тиску
Номер патенту: 14404
Опубліковано: 25.04.1997
Автори: Прохоров Валерій Анатолійович, Глауберман Михайло Абович, Вікулін Іван Михайлович, Чирков Вадим Михайлович, Вікуліна Лідія Федорівна
МПК: G01L 9/04
Формула / Реферат:
Датчик давления, содержащий круглую мембрану, выполненную из монокристалла кремния одного типа проводимости, на которой сформированы первый и второй полупроводниковые тензочувствительные элементы другого типа проводимости, снабженные омическими контактами, отличающийся тем, что, с целью увеличения чувствительности, первый и второй тензочувствительные элементы выполнены в виде биполярных горизонтальных транзисторов с общим эмиттером, с...