Цимбаревич Вячеслав Іванович

Номер патенту: 5226

Опубліковано: 28.12.1994

Автори: Кучеренко Єген Трохимович, Цимбаревич Вячеслав Іванович

МПК: C23C 14/35

Мітки: розпилювальний, пристрій, магнетронний

Формула / Реферат:

(57) 1. Магнетронное распылительное устройство для нанесения покрытия в вакууме, содержащее кольцевой анод, катод - мишень из распыляемого материала и расположенную с нераспыляемой стороны мишени магнитную систему, содержащую установленные с зазором один относительно другого по меньшей мере три концентрично расположенных элемента, два из которых выполнены в виде постоянных магнитов, отличающееся тем, что внешний магнитный элемент выполнен в...