Кучеренко Єген Трохимович
Спосіб нанесення тонких плівок
Номер патенту: 92059
Опубліковано: 27.09.2010
Автори: Бедюх Олександр Радійович, Кучеренко Єген Трохимович
МПК: C23C 14/00, C23C 14/02, C23C 14/24 ...
Мітки: тонких, спосіб, нанесення, плівок
Формула / Реферат:
Спосіб нанесення тонких плівок на підкладку шляхом нагрівання у вакуумі речовини, що наноситься, до температури випаровування і конденсації її пари на підкладку, який відрізняється тим, що нанесення проводять в плазмі газового розряду в атмосфері інертного газу при тисках менше 10-2 торр.
Магнетронний розпилювальний пристрій
Номер патенту: 5226
Опубліковано: 28.12.1994
Автори: Кучеренко Єген Трохимович, Цимбаревич Вячеслав Іванович
МПК: C23C 14/35
Мітки: розпилювальний, магнетронний, пристрій
Формула / Реферат:
(57) 1. Магнетронное распылительное устройство для нанесения покрытия в вакууме, содержащее кольцевой анод, катод - мишень из распыляемого материала и расположенную с нераспыляемой стороны мишени магнитную систему, содержащую установленные с зазором один относительно другого по меньшей мере три концентрично расположенных элемента, два из которых выполнены в виде постоянных магнитов, отличающееся тем, что внешний магнитный элемент выполнен в...