Дерев’янко Андрій Валерійович
Пристрій управління іонним джерелом
Номер патенту: 57737
Опубліковано: 10.03.2011
Автори: Сорока Леонід Степанович, Кропотов Олександр Юрійович, Дерев'янко Андрій Валерійович, Стєрвоєдов Микола Григорович
МПК: H01J 27/00
Мітки: іонним, джерелом, управління, пристрій
Формула / Реферат:
Пристрій управління іонним джерелом, що містить сіткову систему електродів екстракції, розміщену у вакуумній камері іонного джерела, та керовані джерела постійної напруги, який відрізняється тим, що з метою управління енергією, середнім струмом та зарядним складом пучків іонів керовані джерела постійної напруги, кількістю не менш ніж 4, підключені до сіткової системи електродів екстракції через складений з транзисторів електричний міст, а...