Дубов Юрій Георгійович
Вакуумметр
Номер патенту: 84649
Опубліковано: 25.10.2013
Автори: Сагайдачна Наталія Володимирівна, Турко Борис Ігорович, Дубов Юрій Георгійович, Панасюк Мирон Романович
МПК: G01L 21/00
Мітки: вакуумметр
Формула / Реферат:
Вакуумметр, що містить чутливий напівпровідниковий шар, нанесений на непровідну підкладку з двома електродами, який відрізняється тим, що як чутливий напівпровідниковий шар використовують наноструктури ZnO з р-типом провідності.