Ель-Зейн Нада
Барботер для забезпечення випаруваної речовини у процесі хімічного осадження з парової фази
Номер патенту: 86810
Опубліковано: 25.05.2009
Автори: Ель-Зейн Нада, Трен Нем Ханг, Дівенпорт Денніс Леон, Ко Таехо
МПК: C23C 16/448
Мітки: осадження, випаруваної, барботер, процесі, фазі, парової, хімічного, речовини, забезпечення
Формула / Реферат:
1. Барботер для забезпечення випаруваної речовини у процесі хімічного осадження з парової фази, який містить:(a) збірну конструкцію барботера, яка має вхід і вихід,(b) засіб для подавання інертного газу-носія до речовини, з'єднаний з входом,(c) засіб для вилучення випаруваної речовини і газу-носія зі збірної конструкції камери та передачі речовини в процес хімічного осадження з парової фази, з'єднаний з виходом,...