C23C 16/448 — характеризуються способом, використовуваним для генерування реакційноздатних газових струменів, наприклад шляхом випаровування або сублімації проміжних матеріалів

Номер патенту: 112063

Опубліковано: 25.07.2016

Автор: Дассель Марк В.

МПК: C23C 16/44, C23C 16/52, C23C 16/448 ...

Мітки: шару, придатні, псевдозрідження, системі, кремнію, способи, реакторні, виробництва, механічного

Формула / Реферат:

1. Реакторна система, придатна для виробництва кремнію, що містить:реакційний казан, що має внутрішню частину, відділену від його зовнішньої частини за допомогою однієї або декількох стінок казана, які під час роботи утримують перший газоподібний хімічний продукт у щонайменше частині внутрішньої частини реакційного казана, при цьому перший хімічний продукт являє собою щонайменше один з газу силану (SiH4), газу трихлорсилану (SiHCl3)...

Номер патенту: 104577

Опубліковано: 25.02.2014

Автори: Мю Еккехард, Кляйн Харальд, Шорк Райнхольд, Рауледер Хартвіг, Ніколаі Райнер

МПК: B65D 88/12, C23C 16/448

Мітки: високочистих, бочкотара, великого, розміру, ультрависокочистих, складування, транспортування, хімікатів

Формула / Реферат:

1. Порожня бочкотара (1) для приймання високочистих або ультрависокочистих, чутливих до повітря і/або вологи, рідких або здатних до конденсації сполук кремнію або германію зі з'єднувальним модулем (2), що має щонайменше один запірний орган (6) та багатоходову систему (5) з двома або більше запірними органами (6), причому багатоходова система обладнана зануреною трубкою (7), а запірним органом є клапан (6а, 6b, 6с) або кран, а з'єднувальний...

Номер патенту: 86810

Опубліковано: 25.05.2009

Автори: Ель-Зейн Нада, Дівенпорт Денніс Леон, Ко Таехо, Трен Нем Ханг

МПК: C23C 16/448

Мітки: парової, процесі, фазі, випаруваної, забезпечення, осадження, барботер, хімічного, речовини

Формула / Реферат:

1. Барботер для забезпечення випаруваної речовини у процесі хімічного осадження з парової фази, який містить:(a) збірну конструкцію барботера, яка має вхід і вихід,(b) засіб для подавання інертного газу-носія до речовини, з'єднаний з входом,(c) засіб для вилучення випаруваної речовини і газу-носія зі збірної конструкції камери та передачі речовини в процес хімічного осадження з парової фази, з'єднаний з виходом,...

Номер патенту: 66913

Опубліковано: 15.06.2004

Автори: Кузьмін Владімір Пєтровіч, Лахоткін Юрій Вікторовіч

МПК: B32B 15/00, C23C 16/448, C23C 16/32 ...

Мітки: матеріал, композиційний, спосіб, варіанти, покриття, виготовлення, карбідовольфрамове

Формула / Реферат:

1. Матеріал покриття, стійкий до зносу, ерозії і корозії, який являє собою карбід вольфраму, легований фтором у кількості від 0,0005 до 0,5% (мас.).2. Матеріал за п. 1, який являє собою монокарбід вольфраму WC, легований фтором у кількості від 0,0005 до 0,5% (мас.).3. Матеріал за п. 1, який являє собою напівкарбід вольфраму W2C, легований фтором у кількості від 0,0005 до 0,5% (мас.).4. Матеріал за п. 1, який являє собою...

Номер патенту: 21172

Опубліковано: 04.11.1997

Автори: Приданцев Володимир Федорович, Мелікаєв Юрій Миколайович

МПК: C23C 16/448, F23G 7/06

Мітки: токсичних, знешкодження, газових, викидів, спосіб

Формула / Реферат:

Способ обезвреживания токсичных газовых выбросов путем взаимодействия их с низкотемпературной неизотермической плазмой, отличающийся тем, что часть загрязненного потока отбирают, обрабатывают в плазме и направляют в необработанную часть потока.