Федічев Вадим Петрович
Пристрій для нанесення покрить у вакуумі
Номер патенту: 19443
Опубліковано: 25.12.1997
Автори: Ямпольскій Віктор Модестовіч, RU, Нєровний Вячеслав Міхайловіч, RU, Федічев Вадим Петрович, Перемітько Валерій Вікторович
МПК: C23C 14/00, C23C 14/22
Мітки: пристрій, нанесення, вакуумі, покрить
Формула / Реферат:
Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее соосно размещенные расходуемый электрод, полый катод, анод и подложкодержатель, а также источник питания, отличающееся тем, что подложкодержатель совмещен с анодом, а полый катод размещен под расходуемым электродом на расстоянии h от него, удовлетворяющем соотношениюгде d - внутренний диаметр расходуемого электрода, мм;dк - внутренний диаметр полого катода,...