H01L 21/52 — монтаж напівпровідникової підкладки в корпусі

Номер патенту: 1777

Опубліковано: 25.10.1994

Автори: Хомін Ігор Богданович, Щербій Богдан Іванович

МПК: H01L 21/52

Мітки: схемі, монтажу, спосіб, інтегральної

Формула / Реферат:

1. Способ монтажа интегральной схемы, включающий размещение подложки на нагревательном столике, нанесение на подложку связующего в жидкой фазе, воздействие на связующее ультразвуковыми колебаниями, размещение на связующем кристалла, сжатие кристалла и подложки и отверждение связующего, отличающийся тем, что воздействие УЗ-колебаниями осуществляют со стороны нагревательного столика при нанесении связующего, которое осуществляют в течение...