Іздебська Яна Вікторівна

Спосіб одержання зображення мікродеталей

Завантаження...

Номер патенту: 75713

Опубліковано: 15.05.2006

Автори: Шведов Владлен Генадійович, Іздебська Яна Вікторівна, Воляр Олександр Володимирович

МПК: G03F 7/00, G02F 1/35

Мітки: одержання, зображення, мікродеталей, спосіб

Формула / Реферат:

Спосіб одержання зображення мікродеталей, що включає синтез зображення мікродеталей, освітлювання транспаранта лазерним випромінюванням, який відрізняється тим, що синтезують плоске зображення деталі, проектують його на металеву пластину з нанесеним шаром фотополімеру, освітлюють ультрафіолетовим випромінюванням і піддають електрохімічному травленню, потім отриманий транспарант заповнюють рідиною і формують зображення вихідної деталі.