Спосіб одержання зображення мікродеталей

Спосіб одержання зображення мікродеталей, що включає синтез зображення мікродеталей, освітлювання транспаранта лазерним випромінюванням, який відрізняється тим, що синтезують плоске зображення деталі, проектують його на металеву пластину з нанесеним шаром фотополімеру, освітлюють ультрафіолетовим випромінюванням і піддають електрохімічному травленню, потім отриманий транспарант заповнюють рідиною і формують зображення вихідної деталі. (19) (21) 20040402864 (22) 20.04.2004 (24) 15.05.2006 (46) 15.05.2006, Бюл. № 5, 2006 р. (72) Іздебська Яна Вікторівна, Шведов Владлен Генадійович, Воляр Олександр Володимирович (73) ТАВРІЙСЬКИЙ НАЦІОНАЛЬНИЙ УНІВЕРСИТЕТ ІМ. В.І.ВЕРНАДСЬКОГО (56) Herbst L., Klaft I., Wenzel T., Rebhan U. HighRepetition Rate Exсimer Laser for Micromachining// SPIE USE. - 2002. - Vol.2 4971-16. - P.29. 3 75713 4 алізується в такий спосіб. Виготовляють транспаВ області фокуса каустика має кристалографірант: чну структуру [Фіг.2], що порозумівається наявнісНа комп'ютері синтезують плоске зображення тю сингулярностей поля, що роблять її структурно деталі, роздруковують на прозорій плівці і розтастійким хвильовим утворенням. Крім того, на відшовують зображення деталі на плівці поверх фоміну від звичайної дифракції [Фіг.3], що мала би тополімерного шару, нанесеного на металеву пламісце без рідини, каустику має дуже чітко виражені стину. Потім освітлюють ультрафіолетовим границі і, відповідно, енергія світлового поля маквипромінюванням, під дією якого фотополімер симально зосереджена в необхідних для формутвердіє в місцях, навколо зображення деталі на вання мікродеталей місцях. Змінюючи обсяг рідиплівці. Пластину обробляють - змивають шар нени в отворі транспаранта і площину затверділого полімеру, піддають електрохімічному спостереження, змінюють розмір і структуру поля травленню - при цьому зображення деталі одерлазерного випромінювання, що пройшло транспажують у вигляді фігурного отвору в пластині, отвір рант, що дозволяє синтезувати різні за розміром заповнюють рідиною, наприклад, водою чи гліцемікродеталі. рином, одержуючи, таким чином, лінзу з заданим Заявлений спосіб дозволяє одержувати зоастигматизмом. Рідина утримується в отворі за браження мікродеталей значно більш дрібних рорахунок сил поверхневого натягу. змірів, порядку довжини хвилі, із практично 100% Отриманий транспарант (10) поміщають гориеідтворюваністю результатів, що обумовлено зонтально на предметному столику (9) мікроскопа структурною стійкістю каустики, оскільки сам пучок (4), пропускають випромінювання лазера (1) через несе структуру інтенсивності, що відповідає задаотвір, заповнений рідиною. При цьому в лазерноної деталі. Крапкові сингулярности, що складають му пучку формується зображення вихідної деталі. каустику у фокальній області, роблять профіль її Це порозумівається тим, що в області за лінзою інтенсивності максимально крутим, а ця умова є формується каустика, число касп повторює число необхідним при захопленні і втриманні мікрочасзубців деталі, що виготовляється. Поводження тинок, тому що сила затягування частки пропоркаустики за транспарантом спостерігалося через ційна градієнту інтенсивності. Тому спосіб дозвомікрооб'єктив (11) мікроскопа (4), що за допомогою ляє створювати складені мікроелементи шляхом дзеркала (5) проектує через фільтр (6) зображення склеювання захопленої й упорядкованого за дона екран чи на CCD камеру (7) і далі на монітор помогою каустики системи однакових елементаркомп'ютера (8). них мікро деталей. 5 Комп’ютерна верстка М.Клюкін 75713 6 Підписне Тираж 26 прим. Міністерство освіти і науки України Державний департамент інтелектуальної власності, вул. Урицького, 45, м. Київ, МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут промислової власності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601