Качер Ігор Емануілович
Спосіб in situ визначення електрофізичних параметрів та товщини плівок
Номер патенту: 103404
Опубліковано: 10.10.2013
Автори: Пилипко Михайло Михайлович, Ласлов Гейза Елемірович, Качер Ігор Емануілович
МПК: G01N 27/02
Мітки: плівок, спосіб, параметрів, товщини, електрофізичних, визначення
Формула / Реферат:
Спосіб in situ визначення електрофізичних параметрів та товщини плівок, який включає вимірювання попередньо нанесеними на підкладку рівновіддаленими чотирма зондами питомого опору плівки і визначення питомого опору для першого шару як r1=AU/I, де A - константа, U - спад напруги між внутрішніми електродами, I - струм протікання, який відрізняється тим, що додатково наносять ще один зонд і вимірювання питомого опору і товщини шарів плівок...
Спосіб in situ визначення електрофізичних параметрів та товщини плівок
Номер патенту: 71861
Опубліковано: 25.07.2012
Автори: Пилипко Михайло Михайлович, Качер Ігор Емануілович, Ласлов Гейза Елемірович
МПК: G01N 9/00
Мітки: електрофізичних, визначення, товщини, параметрів, спосіб, плівок
Формула / Реферат:
Спосіб in situ визначення електрофізичних параметрів та товщини плівок, який включає вимірювання попередньо нанесеними на підкладку рівновіддаленими чотирма зондами питомого опору плівки і визначення питомого опору для першого шару як , де - константа,