Карпов Євген Семенович

Номер патенту: 12891

Опубліковано: 28.02.1997

Автори: Папіров Ігор Ісакович, Шокуров Володимир Сергійович, Карпов Євген Семенович, Волокита Генадій Іванович

МПК: C23C 14/22

Мітки: спосіб, виготовлення, берилієвої, фольги, тонкої

Формула / Реферат:

Способ изготовления тонкой бериллиевой фольги, включающий многостадийное осаждение паров бериллия на подложку, Отделение конденсата и последующую термообработку, отличающееся тем, что после осаждения паров бериллия толщиной 0,5-5 мкм проводят осаждение слоя окиси бериллия толщиной 2-10 нм, причем цикл осаждения слоев бериллия и окиси бериллия повторяют многократно, при этом осаждают не менее пяти слоев бериллия.