Завантажити PDF файл.

Формула / Реферат

Способ изготовления тонкой бериллиевой фольги, включающий многостадийное осаждение паров бериллия на подложку, Отделение конденсата и последующую термообработку, отличающееся тем, что после осаждения паров бериллия толщиной 0,5-5 мкм проводят осаждение слоя окиси бериллия толщиной 2-10 нм, причем цикл осаждения слоев бериллия и окиси бериллия повторяют многократно, при этом осаждают не менее пяти слоев бериллия.

Текст

Способ изготовления тонкой бериллиевой фольги, включающий многостадийное осаждение паров бериллия на подложку, Отделение конденсата и последующую термообработку, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что после осаждения паров бериллия толщиной 0,5-5 мкм проводят осаждение слоя окиси бериллия толщиной 2-10 нм, причем цикл осаждения слоев бериллия и окиси бериллия повторяют многократно, при этом осаждают не менее пяти слоев бериллия. Однако известный способ (2) не позволяет получать бериллиевую фольгу толщиной менее 5 мкм при сохранении вакуумной плотности и, кроме того, требует прецизионного прокатного оборудования. Полученные фольги имеют высокую стоимость, выход годной продукции резко снижается с уменьшением толщины и составляет несколько процентов при толщине 5-10 мкм. В основу изобретения поставлена задача создать такой способ изготовления тонкой бериллиевой фольги, в котором новые условия проведения операции осаждения паров бериллия на подложку позволили бы устранить сквозную пористость в фольге и, за счет этого увеличить выход годной фольги толщиной менее 30 мкм. Усовершенствованию подвергается способ изготовления беррилиевой фольги, включающий многостадийное осаждение паров бериллия, отделение конденсатов и последующую термообработку. Усовершенствование заключается в том, что после С > (О 00 о О

Дивитися

Додаткова інформація

Назва патенту англійською

Method for production of thin beryllium foil

Автори англійською

Volokyta Henadii Ivanovych, Karpov Yevhen Semenovych, Papirov Ihor Isakovich, Shokurov Volodymyr Serhiiovych

Назва патенту російською

Способ изготовления тонкой бериллиевой фольги

Автори російською

Волокита Геннадий Иванович, Карпов Евгений Семенович, Папиров Игорь Исакиевич, Шокуров Владимир Сергеевич

МПК / Мітки

МПК: C23C 14/22

Мітки: фольги, спосіб, берилієвої, виготовлення, тонкої

Код посилання

<a href="https://ua.patents.su/2-12891-sposib-vigotovlennya-tonko-beriliehvo-folgi.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентів України">Спосіб виготовлення тонкої берилієвої фольги</a>

Подібні патенти