Хюбш Вольфрам

Пристрій для визначення взаємного положення двох по суті плоских елементів

Завантаження...

Номер патенту: 89431

Опубліковано: 25.01.2010

Автори: Каннон Марк, Хюбш Вольфрам, Куртц Райнер, Грумм Харальд

МПК: G03F 9/00, H05K 3/00

Мітки: взаємного, суті, елементів, положення, визначення, плоских, пристрій, двох

Формула / Реферат:

1. Пристрій для визначення взаємного положення в площині X-Y двох по суті плоских елементів, розташованих по суті один над іншим на відстані один від одного у напрямі Z, що містить щонайменше один розташований між вказаними елементами оптичний реєструючий прилад, що дозволяє реєструвати щонайменше по дві точки на звернених одна до одної поверхнях елементів, і блок обробки, виконаний з можливістю аналізу зображень точок відносно їх взаємного...