Кирпатенко Лідія Трохимівна

Номер патенту: 16575

Опубліковано: 29.08.1997

Автори: Шмирьова Олександра Миколаївна, Кирпатенко Лідія Трохимівна, Кустова Лариса Петрівна

МПК: H01L 21/225

Мітки: сонячних, виготовлення, елементів, спосіб

Формула / Реферат:

Способ изготовления солнечных элементов, включающий диффузию бора в кремниевые пластины n-типа проводимости, нанесение омических контактов и антиотражающих покрытий, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности преобразования элементов путем снижения влияния эффектов сильного легирования, диффузию проводят из пластин нитрида бора через слой двуокиси кремния толщиной 10-30 нм в температурном диапазоне 1150-1200 К в течение 20-40 мин...